Kargeha Çerxên Yekgirtî ya Pîvana Pir Mezin a Projeya 909 projeyek avakirinê ya mezin a pîşesaziya elektronîkê ya welatê min di dema Plana Pênc-Salî ya Nehemîn de ye ji bo hilberandina çîpên bi firehiya xêza 0,18 mîkron û qûtra 200 mm.
Teknolojiya çêkirina devreyên entegre yên pir mezin ne tenê teknolojiyên rastbûna bilind ên wekî mîkro-makînekirinê dihewîne, lê di heman demê de şertên bilind li ser paqijiya gazê jî datîne.
Dabînkirina gaza girseyî ji bo Projeya 909 ji hêla hevbeşiyek di navbera Praxair Utility Gas Co., Ltd. ya Dewletên Yekbûyî û aliyên peywendîdar li Şanghayê ve tê peyda kirin da ku bi hev re tesîseke hilberîna gazê ava bikin. Tesîsa hilberîna gazê li kêleka avahiya kargeha projeya 909 ye, rûberek bi qasî 15,000 metreçargoşeyî vedihewîne. Paqijî û pêdiviyên derana gazên cûrbecûr
Nîtrojena paqijiya bilind (PN2), nîtrojen (N2), û oksîjena paqijiya bilind (PO2) bi veqetandina hewayê têne hilberandin. Hîdrojena paqijiya bilind (PH2) bi elektrolizê tê hilberandin. Argon (Ar) û helyûm (He) bi awayekî derveyî têne kirîn. Kêm-gaz ji bo karanîna di Projeya 909 de tê paqijkirin û fîltrekirin. Gaza taybet di şûşeyan de tê peyda kirin, û kabîneya şûşeyên gazê di atolyeya alîkar a kargeha hilberîna devreyên entegre de ye.
Gazên din jî sîstema CDA ya hewaya pêçayî ya hişk û paqij, bi qebareya bikaranînê ya 4185m3/h, xala şilbûna zextê ya -70°C, û mezinahiya perçeyan di gazê de li xala bikaranînê ji 0.01um zêdetir nîne. Sîstema hewaya pêçayî ya bêhnvedanê (BA), qebareya bikaranînê 90m3/h, xala şilbûna zextê 2℃, mezinahiya perçeyan di gazê de li xala bikaranînê ji 0.3um mezintir nîne, sîstema vakûma pêvajoyê (PV), qebareya bikaranînê 582m3/h, pileya vakûmê li xala bikaranînê -79993Pa. Sîstema vakûma paqijkirinê (HV), qebareya bikaranînê 1440m3/h, pileya vakûmê li xala bikaranînê -59995 Pa. Odeya kompresora hewayê û odeya pompa vakûmê her du jî li herêma kargeha projeya 909-an de ne.
Hilbijartina materyal û aksesûarên boriyan
Gaza ku di hilberîna VLSI de tê bikar anîn pêdiviyên paqijiyê yên pir bilind hene.Boriyên gazê yên paqijiya bilindbi gelemperî di jîngehên hilberînê yên paqij de têne bikar anîn, û kontrola paqijiya wan divê bi asta paqijiya cîhê ku tê bikar anîn re lihevhatî an jî ji wê bilindtir be! Wekî din, boriyên gazê yên paqijiya bilind pir caran di jîngehên hilberînê yên paqij de têne bikar anîn. Hîdrojena paqij (PH2), oksîjena paqijiya bilind (PO2) û hin gazên taybetî gazên şewatbar, teqîner, piştgirîkirina şewitandinê an jehrîn in. Ger pergala boriyên gazê bi rengekî xelet hatibe sêwirandin an jî materyal bi rengekî xelet bên hilbijartin, ne tenê paqijiya gaza ku li xala gazê tê bikar anîn dê kêm bibe, lê di heman demê de dê têk biçe jî. Ew hewcedariyên pêvajoyê bicîh tîne, lê karanîna wê ne ewle ye û dê bibe sedema qirêjiyê li kargeha paqij, ku bandorê li ewlehî û paqijiya kargeha paqij dike.
Garantiya kalîteya gaza paqijiya bilind li xala bikaranînê ne tenê bi rastbûna hilberîna gazê, alavên paqijkirinê û fîlteran ve girêdayî ye, lê di heman demê de bi giranî ji hêla gelek faktorên di pergala boriyan de jî bandor dibe. Ger em xwe bispêrin alavên hilberîna gazê, alavên paqijkirinê û fîlteran, ferzkirina daxwazên rastbûna bêdawî bilindtir ji bo telafîkirina sêwirana pergala boriyên gazê an hilbijartina materyalê ya nerast bi tenê xelet e.
Di pêvajoya sêwirandina projeya 909 de, me "Koda Sêwirana Santralên Paqij" GBJ73-84 (standarda niha (GB50073-2001) ye), "Koda Sêwirana Stasyonên Hewaya Pêçayî" GBJ29-90, "Koda Sêwirana Stasyonên Oksîjenê" GB50030-91, "Koda Sêwirana Stasyonên Hîdrojen û Oksîjenê" GB50177-93, û tedbîrên teknîkî yên têkildar ji bo hilbijartina materyal û aksesûarên boriyan şopandin. "Koda Sêwirana Santralên Paqij" hilbijartina materyal û valvên boriyan wiha destnîşan dike:
(1) Eger paqijiya gazê ji %99.999 mezintir an jî wekhev be û xala şilbûnê ji -76°C kêmtir be, divê lûleya pola zengarnegir a karbona kêm 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) bi dîwarê hundirîn ê elektropolîşkirî an lûleya pola zengarnegir a OCr18Ni9 (304) bi dîwarê hundirîn ê elektropolîşkirî were bikar anîn. Divê valv valveke dîyafram an valveke bellows be.
(2) Eger paqijiya gazê ji %99.99 mezintir an jî wekhev be û xala şilbûnê ji -60°C kêmtir be, divê lûleya pola ya zengarnegir a OCr18Ni9 (304) bi dîwarê hundirîn ê elektropolîşkirî were bikar anîn. Ji bilî valvên bellows ku divê ji bo boriyên gaza şewatbar werin bikar anîn, divê valvên topê ji bo boriyên din ên gazê werin bikar anîn.
(3) Ger xala şilbûnê ya hewaya hişk a pêçayî ji -70°C kêmtir be, divê lûleya pola zengarnegir a OCr18Ni9 (304) bi dîwarê hundirîn ê cilkirî were bikar anîn. Ger xala şilbûnê ji -40°C kêmtir be, divê lûleya pola zengarnegir a OCr18Ni9 (304) an lûleya pola bêderz a galvanîzekirî ya germ-dip were bikar anîn. Divê valv valvek belongs an valvek gogê be.
(4) Materyalê valvê divê bi materyalê lûleya girêdanê re lihevhatî be.
Li gorî hewcedariyên taybetmendî û pîvanên teknîkî yên têkildar, dema ku em materyalên boriyan hildibijêrin, em bi giranî aliyên jêrîn li ber çavan digirin:
(1) Divê permeabilîteya hewayê ya materyalên boriyan piçûk be. Boriyên ji materyalên cuda xwedî permeabilîteya hewayê ya cuda ne. Ger boriyên bi permeabilîteya hewayê ya mezintir werin hilbijartin, qirêjî nayê rakirin. Boriyên ji pola zengarnegir û boriyên sifir di pêşîgirtina li derbasbûn û korozyona oksîjenê di atmosferê de çêtir in. Lêbelê, ji ber ku boriyên ji pola zengarnegir kêmtir çalak in ji boriyên sifir, boriyên sifir di rêdana şilbûna di atmosferê de ku bikeve nav rûyên wan ên hundurîn de çalaktir in. Ji ber vê yekê, dema ku boriyên ji bo boriyên gazê yên paqijiya bilind têne hilbijartin, divê boriyên ji pola zengarnegir bijartina yekem bin.
(2) Rûyê hundirîn ê materyalê lûleyê tê adsorbkirin û bandorek piçûk li ser analîzkirina gazê dike. Piştî ku lûleya pola zengarnegir tê pêvajokirin, mîqdarek diyarkirî ya gazê dê di tora xwe ya metalî de bimîne. Dema ku gaza paqijiya bilind derbas dibe, ev beşa gazê dê bikeve herikîna hewayê û bibe sedema qirêjiyê. Di heman demê de, ji ber adsorbsiyon û analîzê, metala li ser rûyê hundirîn ê lûleyê dê mîqdarek diyarkirî ya tozê jî hilberîne, ku dibe sedema qirêjiya gaza paqijiya bilind. Ji bo pergalên lûleyan bi paqijiya ji %99.999 an asta ppb jortir, divê lûleya pola zengarnegir a karbona kêm 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) were bikar anîn.
(3) Berxwedana li hember aşînê ya boriyên pola zengarnegir ji ya boriyên sifir çêtir e, û toza metalî ya ku ji ber erozyona herikîna hewayê çêdibe nisbeten kêmtir e. Atolyeyên hilberînê yên ku hewcedariyên paqijiyê bilindtir in dikarin boriyên pola zengarnegir ên karbona kêm 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) an boriyên pola zengarnegir ên OCr18Ni9 (304) bikar bînin, boriyên sifir nayên bikar anîn.
(4) Ji bo sîstemên boriyan ên ku paqijiya gazê ji %99.999 an asta ppb an ppt zêdetir e, an jî di odeyên paqij de bi asta paqijiya hewayê ya N1-N6 ku di "Koda Sêwirana Kargeha Paqij" de hatine destnîşankirin, boriyên pir-paqij anBoriyên pir paqij ên EPdivê were bikaranîn. "Lûleya paqij bi rûbera hundirîn a ultra-lûs" paqij bike.
(5) Hin ji sîstemên boriyên gazê yên taybet ên ku di pêvajoya hilberînê de têne bikar anîn gazên pir korozîf in. Divê boriyên di van sîstemên boriyan de boriyên pola yên zengarnegir ên li hember korozyonê berxwedêr wekî boriyan bikar bînin. Wekî din, boriyan dê ji ber korozyonê zirarê bibînin. Ger lekeyên korozyonê li ser rûyê erdê çêbibin, boriyên pola yên bênavber ên asayî an jî boriyên pola yên galvanîzekirî yên qelandî nayên bikar anîn.
(6) Di prensîbê de, divê hemû girêdanên boriyên gazê werin qelandin. Ji ber ku qelandina boriyên pola yên galvanîzekirî dê çîna galvanîzekirî xera bike, boriyên pola yên galvanîzekirî ji bo boriyên di odeyên paqij de nayên bikar anîn.
Bi berçavgirtina faktorên jorîn, boriyên gazê û valvên ku di projeya &7& de hatine hilbijartin ev in:
Borîyên sîstema nîtrojena paqijiya bilind (PN2) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) yên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî têne çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê têne çêkirin.
Borîyên sîstema nîtrojenê (N2) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) yên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî hatine çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê hatine çêkirin.
Borîyên sîstema hîdrojena paqijiya bilind (PH2) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî têne çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê têne çêkirin.
Borîyên sîstema oksîjena paqijiya bilind (PO2) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) yên bi dîwarên hundirîn ên elektro-polîşkirî têne çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê têne çêkirin.
Borîyên sîstema Argon (Ar) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) yên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî têne çêkirin, û valfên bellow ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê têne bikar anîn.
Borîyên sîstema helyûmê (He) ji borîyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) yên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî hatine çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê hatine çêkirin.
Borîyên sîstema hewaya paqij û hişk a pêçayî (CDA) ji borîyên pola yên zengarnegir ên OCr18Ni9 (304) yên bi dîwarên hundirîn ên cilkirî hatine çêkirin, û valf jî ji valfên piling ên pola yên zengarnegir ên ji heman materyalê hatine çêkirin.
Borîyên sîstema hewaya pêçayî ya nefesgirtinê (BA) ji borîyên pola yên zengarnegir ên OCr18Ni9 (304) yên bi dîwarên hundirîn ên cilkirî hatine çêkirin, û valf jî ji valfên topê yên pola yên zengarnegir ên ji heman materyalê hatine çêkirin.
Borîyên sîstema valahiya pêvajoyê (PV) ji borîyên UPVC têne çêkirin, û valv jî ji valvên perperok ên valhûyê yên ji heman materyalê hatine çêkirin têne çêkirin.
Borîyên sîstema valahiya paqijkirinê (HV) ji boriyên UPVC têne çêkirin, û valv jî ji valvên perperok ên valahiya yên ji heman materyalê hatine çêkirin têne çêkirin.
Boriyên sîstema gaza taybet hemû ji boriyên pola zengarnegir ên karbona kêm-karbon ên 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ên bi dîwarên hundirîn ên elektropolîşkirî hatine çêkirin, û valf jî ji valfên bellows ên pola zengarnegir ên ji heman materyalê hatine çêkirin.
3 Avakirin û sazkirina boriyan
3.1 Beşa 8.3 ya "Koda Sêwirana Avahiya Kargeha Paqij" van xalan ji bo girêdana boriyan destnîşan dike:
(1) Girêdanên boriyan divê werin qelandin, lê boriyên pola yên galvanîzekirî yên germ divê werin pêçandin. Materyalê mohrkirinê yê girêdanên pêçandî divê li gorî pêdiviyên Bend 8.3.3 ya vê taybetmendiyê be.
(2) Borîyên pola yên zengarnegir divê bi kaynakirina kevana argon û kaynakirina qûntarî an kaynakirina soketê ve werin girêdan, lê borîyên gazê yên paqijiya bilind divê bi kaynakirina qûntarî bêyî nîşanekan li ser dîwarê hundurîn werin girêdan.
(3) Girêdana di navbera boriyan û alavan de divê li gorî pêdiviyên girêdana alavan be. Dema ku girêdanên lûleyan têne bikar anîn, divê lûleyên metalî werin bikar anîn.
(4) Girêdana di navbera boriyan û valvan de divê li gorî rêziknameyên jêrîn be.
① Materyalê mohrkirinê yê ku boriyên gazê yên paqijiya bilind û valvan girêdide, divê li gorî hewcedariyên pêvajoya hilberînê û taybetmendiyên gazê gasketên metal an jî ferrulên duqat bikar bîne.
② Materyalê mohrkirinê li girêdana bi têl an flançê divê polîtetrafluoroetîlen be.
3.2 Li gorî pêdiviyên taybetmendî û tedbîrên teknîkî yên têkildar, divê girêdana boriyên gazê yên paqijiya bilind bi qasî ku pêkan be were qelandin. Divê di dema qelandinê de ji qelandina rasterast a qûntar dûr were girtin. Divê lepikên boriyan an jî girêdanên qedandî werin bikar anîn. Divê lepikên boriyan ji heman materyal û rûbera hundurîn a nerm wekî boriyan werin çêkirin. Di dema qelandinê de, ji bo pêşîgirtina li oksîdasyona beşa qelandinê, divê gaza parastinê ya paqij were xistin nav boriya qelandinê. Ji bo boriyên pola yên zengarnegir, divê qelandina kevana argonê were bikar anîn, û divê gaza argonê ya bi heman paqijiyê were xistin nav boriyê. Divê girêdana bi têl an girêdana bi têl were bikar anîn. Dema ku flanjan têne girêdan, divê ferrule ji bo girêdanên bi têl werin bikar anîn. Ji bilî boriyên oksîjenê û boriyên hîdrojenê, ku divê gasketên metal bikar bînin, boriyên din jî divê gasketên polîtetrafluoroetîlen bikar bînin. Sepandina mîqdarek piçûk ji lastîka silîkonê li ser gasketan jî dê bibandor be. Bandora mohrkirinê zêde bikin. Dema ku girêdanên flanjan têne çêkirin, divê tedbîrên wekhev werin girtin.
Berî destpêkirina xebata sazkirinê, vekolînek dîtbarî ya berfireh a boriyan,alavên, valf, û hwd. divê werin çêkirin. Divê dîwarê hundirîn ê boriyên pola yên zengarnegir ên asayî berî sazkirinê were pijandin. Divê boriyên, alavên, valf, û hwd. yên boriyên oksîjenê bi tundî ji rûnê werin qedexekirin, û divê berî sazkirinê li gorî hewcedariyên têkildar bi tundî ji rûnê werin paqijkirin.
Berî ku sîstem were sazkirin û dest bi karanînê bike, divê sîstema boriyên veguhestin û belavkirinê bi tevahî bi gaza paqijiya bilind a ku tê şandin were paqijkirin. Ev ne tenê toza ku di dema sazkirinê de bi xeletî ketiye nav sîstemê diavêje, lê di heman demê de di sîstema boriyan de roleke zuwakirinê jî dilîze, beşek ji gaza şilbûyî ya ku ji hêla dîwarê boriyê û heta materyalê boriyê ve hatiye kişandin radike.
4. Test û pejirandina zexta boriyê
(1) Piştî sazkirina sîstemê, divê %100 vekolîna radyografîk a boriyên ku şilavên pir jehrîn di boriyên gazê yên taybet de vediguhezînin were kirin, û kalîteya wan divê ji Asta II kêmtir nebe. Boriyên din dê bibin mijara vekolîna radyografîk a nimûnegirtinê, û rêjeya vekolîna nimûnegirtinê divê ji %5 kêmtir nebe, û kalîtî divê ji pola III kêmtir nebe.
(2) Piştî derbasbûna ji vekolîna bêtunekirinê, divê ceribandina zextê were kirin. Ji bo misogerkirina hişkbûn û paqijiya pergala boriyan, divê ceribandina zexta hîdrolîk neyê kirin, lê divê ceribandina zexta pneumatîk were bikar anîn. Divê ceribandina zexta hewayê bi karanîna nîtrojen an hewaya pêçayî ya ku bi asta paqijiya odeya paqij re li hev dike were kirin. Divê zexta ceribandinê ya boriyê 1,15 carî zexta sêwirandinê be, û zexta ceribandinê ya boriya valahiyê divê 0,2 MPa be. Di dema ceribandinê de, divê zext hêdî hêdî û hêdî were zêdekirin. Dema ku zext bigihîje %50-ê zexta ceribandinê, heke anormaliyek an rijandin neyê dîtin, gav bi gav zextê bi %10-ê zexta ceribandinê zêde bikin, û zextê li her astê 3 hûrdeman sabît bikin heya ku zexta ceribandinê bigihîje. Zextê 10 hûrdeman sabît bikin, dûv re zextê kêm bikin heya zexta sêwirandinê. Divê dema rawestandina zextê li gorî hewcedariyên tespîtkirina rijandinê were destnîşankirin. Madeya kefkirinê heke rijandin tune be maqûl e.
(3) Piştî ku sîstema valahiyê di testa zextê de derbas dibe, divê li gorî belgeyên sêwirandinê testa pileya valahiyê ya 24 demjimêran jî bike, û rêjeya zextkirinê divê ji %5 mezintir nebe.
(4) Testa rijandinê. Ji bo pergalên boriyên pola ppb û ppt, li gorî taybetmendiyên têkildar, divê tu rijandin wekî kalîfîye neyê hesibandin, lê testa mîqdara rijandinê di dema sêwirandinê de tê bikar anîn, ango testa mîqdara rijandinê piştî testa tengbûna hewayê tê kirin. Zext zexta xebatê ye, û zext ji bo 24 demjimêran tê rawestandin. Rijandina navînî ya demjimêrî ji 50 ppm kêmtir an jî wekhev e wekî kalîfîye. Hesabkirina rijandinê wiha ye:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Di formulê de:
Rijandina saetekê (%)
P1-Zexta mutleq di destpêka ceribandinê de (Pa)
P2-Zexta mutleq di dawiya ceribandinê de (Pa)
T1 - germahiya mutleq di destpêka ceribandinê de (K)
T2 - germahiya mutleq di dawiya ceribandinê de (K)
Dema weşandinê: 12ê Kanûna Pêşîn a 2023an