Çima Sîstemên Radestkirina Gaza UHP Ewqas Krîtîk in?
Di çêkirina nîvconductoran de - pêvajoyên wekî gravur, CVD, çandina îyonan, û lîtografî - divê gazên pêvajoyê paqijiya pir bilind bin, bi gelemperî 99.9999% (6N) an jî 99.99999% (7N). Heta gemarên şopîner ên di asta ppb (beşên ji bo milyarekê) an ppt (beşên ji bo trîlyonekê) de - wekî şilbûn an oksîjen - dikarin bibin sedema kêmasiyên kujer ên wekî tenikbûna oksîda derî, valahiya metalî, an kurteçûnên li ser waferan, ku dibe ku tevahiya beş hilweşîne.
Ji ber vê yekê, armanca pergala radestkirina gaza UHP ew e ku gazan ji çavkaniyê ber bi amûra pêvajoyê veguhezîne bêyî ku paqijiya wan xirab bibe, û li her xalê pêşî li gemarîbûn û rijandinê bigire.
Çima Lûleyên EP Dibin Stûna Sîstemên UHP?
Lûleya EP (Electropolished) ji pola zengarnegir tê çêkirin ku pêvajoyeke cilandina elektroşîmyayî derbas dike, û rûyek hundirîn a mîna neynikê çêdike. Ev yek wê dike "damar"ek neçar ji bo belavkirina gaza UHP.
Paqijiya Bêkêmasî - Pêşîlêgirtin li Çavkaniyê
Pêvajoya EP xavbûna rûyê hundirîn (Ra) kêm dike heta 0.13 µm - 0.25 µm an jî kêmtir. Ev qedandina ultra-lûs qulên mîkroskopîk û cihên adsorpsiyonê ji holê radike, û cîh ji bo girêdana perçeyan, îyonên metalî, an şilbûnê nahêle.
Berxwedana Korozyonê ya Zêdekirî - Parastina Paqijiyê
Gava elektropolîşkirinê qirêjiyên rûyê erdê radike û çînek pasîf a dewlemend bi oksîda krom çêdike, ku berxwedana li hember gazên korozîf ên wekî Cl₂, CF₄, û HCl bi girîngî baştir dike. Ev yek rê li ber korozyona dîwarê lûleyê digire ku dikare perçeyan an qirêjiya gaza derve çêbike.
Karîgeriya Herikînê ya Baştirkirî û Paqijkirina Bileztir
Dîwarê hundirîn ê nerm berxwedana herikînê kêm dike û paqijkirina pergalê û guheztina gazê leztir dike. Di pêvajoyên ku guheztina gazê ya bilez hewce dike de, ev demên çerxê kurt dike û rêjeya hilberîna fabrîkê zêde dike.
Materyalê Premium - Standarda "Tac"
Lûleyên EP yên bi kalîte bilind ji pola zengarnegir a 316L VIM-VAR (Helandina Înduksîyona Vakumê + Rehelandina Arka Vakumê) têne çêkirin. Ev pêvajoya helandina ducarî paqijiya girseyî ya zêde ya metala bingehîn misoger dike, ku ev şertek bingehîn e ji bo bidestxistina performansa dawîn a EP.
Senaryoyên Serlêdana Sereke
•
Pêvajoyên bingehîn- Radestkirina gazên reaktîf ên paqijiya bilind ji bo gravurkirin, CVD, çandina îyonan, û lîtografiyê.
•
Gazên Taybet- Desteserkirina bi ewlehî ya gazên şewatbar, jehrîn, an korozîf ên wek SiH₄, PH₃, Cl₂, û BCl₃. Ji bo gazên pir xeternak, pir caran lûleya EP ya ducarî tê bikar anîn (lûleya hundirîn ji bo gazê, cilê derve ji bo çavdêriya rijandinê valakirî an jî bi nîtrojenê paqijkirî).
•
Amûrên Krîtîk- Di panelên belavkirina gazê (VMB), kabîneyên gazê, û girêdanên amûrên pêvajoyê de tê bikar anîn ku li wir rûberên hundurîn ên pir paqij pêdivî ne.
Ji bilî Lûleyan: Pêdiviyên Din Ji Bo Sîstemeke UHP ya Temam
Ji bo misogerkirina yekparebûna mutleq, divê pergal jî ev tiştan dihewîne:
•
Welding Orbital a Bi Tevahî Otomatîk- Di odeyên paqij ên ISO Class 5 (Class 100) an jî çêtir de tê kirin, guherînên weldingên destî û xetereyên gemarbûnê ji holê radike.
•
Amûrên Morkirina Rûyê yên Hemû-Metalî– Wek mînak celebên VCR® an W-Seal, ku ji bo performansa bê rijandin bi gasketên metalî ve girêdayî ne.
•
Paqijkirin û Pakêtkirina Bi Rêz- Lûleyên EP bi gelemperî bi ava paqijiya bilind têne paqijkirin, hişkkirin û bi nîtrojenê têne paqijkirin berî ku di pakêta odeya paqij de du caran werin danîn da ku paqijiya wan a "wek ku hatine şandin" heta sazkirinê were parastin.
Lûleyên EP ne tenê lûle ne - ew xeta yekem a parastinê ye di radestkirina gaza nîvconductor de. Rûyê wê yê pir nerm, berxwedana wê ya li hember korozyonê ya bilind, û paqijiya materyalê ya premium rasterast bandorê li ser hilberîna wafer, pêbaweriya cîhazê, û qezenca giştî ya fabrîkê dike. Di cîhana girêkên bin-5nm û budçeyên kêmasiyên her ku diçe tengtir de, lûleyên EP ne vebijarkî ne - ew bingehîn in.
Dema şandinê: Tebax-05-2026